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山東禹王實業有限公司單晶硅外延基座研發及產業化項目通過專家驗收

關鍵詞 單晶 , 碳化硅涂層|2012-05-08 14:17:59|來源 發改委
摘要 4月25日,山東省發改委組織專家對山東禹王實業有限公司承建的單晶硅外延基座研發及產業化項目進行了驗收。與會專家聽取了項目工作、技術、財務等總結報告,察看了項目現場,一致認為該項目完...

 

  4月25日,山東省發改委組織專家對山東禹王實業有限公司承建的單晶硅外延基座研發及產業化項目進行了驗收。與會專家聽取了項目工作、技術、財務等總結報告,察看了項目現場,一致認為該項目完成了批復文件規定的建設內容,同意通過驗收。


  該項目于2009年3月份被國家發改委批復為電子信息產業振興和技術改造項目。項目批復總投資5554萬元,其中,中央預算內投資350萬元,銀行貸款3000萬元,企業自籌2204萬元。
  項目新增建筑面積11280平方米;購置設備326臺(套),建設了4條CVD生產線,形成了年產單晶硅外延用和氮化鎵外延用碳化硅涂層石墨基座21000套的能力。
  該項目突破了石墨基座碳化硅涂層的化學氣相沉積技術,建成了目前國內直徑最大的碳化硅沉積爐,能夠進行直徑850mm大尺寸基座的生產,打破了國外壟斷,填補了國內空白,獲國家發明專利1項。
  通過本項目的實施,將填補我國微電子、光電子半導體外延材料生產所需特種陶瓷基座的空白,替代進口,解決此類產品的供給難題,實現半導體生產中關鍵易耗部件的國產化。同時解決硅單晶外延生長中粘附工件與臺面的技術難題,為我國硅單晶外延片向大直徑、多片基發展提供設備支撐,這對我國微、光電子半導體產業將產生顯著的帶動作用。 


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