4月23日，中國(guó)質(zhì)量檢驗(yàn)協(xié)會(huì)發(fā)布通知，《金剛石制備 低壓微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)順利通過評(píng)審，批準(zhǔn)立項(xiàng)。

上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司、上海征世科技股份有限公司、西安電子科技大學(xué)蕪湖研究院、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、吉林大學(xué)、武漢工程大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院為此項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的主要起草單位。

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)相比較于國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)有著更短的制定周期以及更高的市場(chǎng)要求。它既能夠填補(bǔ)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的空白，又能夠靈活的吸納行業(yè)內(nèi)優(yōu)質(zhì)的新產(chǎn)品、新技術(shù)，及時(shí)反映行業(yè)特點(diǎn)，與國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)等政府主導(dǎo)制定的標(biāo)準(zhǔn)共同構(gòu)成國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體系。

該團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的立項(xiàng)及之后的建立，將為我國(guó)MPCVD金剛石行業(yè)健康有序發(fā)展提供重要支撐，助力中國(guó)MPCVD金剛石技術(shù)更高水平對(duì)外開放。