顆粒的分布情況是眾多研究領域需要討論的話題，CVD金剛石領域也不例外。金剛石形核的均勻性對于CVD金剛石的質量和性能至關重要，因為CVD金剛石在形核階段的均勻性會直接影響到金剛石薄膜的晶粒尺寸、晶體取向、應力以及內部缺陷的分布。

       目前，形核密度是大多數研究者在描述金剛石形核的均勻性時所采用的量化指標，該指標一般是通過統(tǒng)計單位面積襯底上的金剛石核的數量來確定。但是，形核密度只是給出了一個整體的結果，設想一下如果襯底上的金剛石顆粒僅僅發(fā)生分布上的改變而總體數量不變，基于形核密度的量化策略所給出的結果是不會發(fā)生變化的。可以認為，目前人們對金剛石形核的均勻性仍然缺乏有效的量化評價方法。

       近日，哈爾濱工業(yè)大學紅外薄膜與晶體團隊提出了一種新算法，運用 Kullback-Leibler (K-L)散度來定量評估CVD金剛石成核的均勻性，有效克服了傳統(tǒng)指標（如形核密度過于關注整體而方差易受異常值影響）的局限性。通過對比五組具有不同金剛石核分布的硅襯底以及改變分區(qū)大小的方式對新算法進行了評估。

       結果表明該算法的量化結果完美符合當前和以往的實驗現象且與主流的理論框架相一致，在評估金剛石形核均勻性方面展現出更優(yōu)的信效度和魯棒性。盡管該算法在文中主要應用于CVD金剛石形核的研究，但其對其它應用具有很好的適應性和可遷移性，為納米材料、生物醫(yī)學以及食品工程等眾多需要精準粒子分布分析的科學領域提供了重要的參考價值。

       該成果以Quantitative Analysis of the Uniformity of CVD Diamond Nucleation via Kullback-Leibler Divergence為題發(fā)表在金剛石領域知名期刊《Diamond & Related Materials》上（第一作者為博士研究生鄭康），并被選為第156卷封面。

       文章亮點

       1. 建立了基于K-L散度的用以評價顆粒分布均勻性的量化方案；

       2. 證明了該量化方案在評價CVD金剛石在襯底上形核的均勻性上具備極佳的信效度和魯棒性，且該方案的元數據來自圖片，不依賴特定的檢測設備，因此同時具有較好的可移植性。

       圖文導讀

圖1 圖像處理流程

圖2 點圖再分割示意圖

圖3 各組樣品的量化統(tǒng)計結果

圖4 硅襯底表面在各處理步驟時的狀態(tài)（AFM圖像捕獲于CVD沉積之前）

圖5 區(qū)塊大小對各量化指標的影響

       總結與展望

       基于K-L散度的顆粒分布均勻性的量化算法在量化描述CVD金剛石形核均勻性方面表現突出，在克服形核密度靈敏度低的同時也沒有像方差一樣容易受極端值的影響。并且該算法的元數據可以來自圖片，具有數據獲取難度低、算法可移植性強等優(yōu)勢。不過，對于其它研究領域的應用在文中只做了簡要的可行性分析，可以結合其它研究繼續(xù)對該算法進行驗證。

       此外，還可以考慮對各組形核后的樣品進行生長，從生長的晶體質量及性能等角度進一步強調該算法在CVD金剛石形核工藝優(yōu)化及晶體質量的提前判斷等方面的意義。